EPC SERIES · Edge 계측센서

MES07-FC4 시리즈 / MES07-LF

레이저 평행광 방식 CMOS 센서로 필름·시트·웨이퍼의 엣지 위치를 4채널까지 동시에 정밀 계측하는 EPC 시리즈입니다.

4CH 동시 계측 ±1㎛ 반복 정도 오염 검출 Alarm Analog / EtherCAT / Profinet

Overview

오염에 강한 CMOS 방식 Edge 계측

EPC 시리즈는 수광 소자로 CMOS 센서를 사용하여, PD 소자를 사용하는 방식에 비해 오염의 영향을 적게 받습니다. 오염으로 전체 수광량이 저하되더라도 측정 위치의 변화가 없으며, 오염 검출 Alarm 기능으로 오염 정도에 따라 경보를 출력할 수 있습니다.

검출체 가장자리에 전극 등 Tab이 있는 경우 Edge Data가 급격히 변하는 것을 막는 Edge 무시 기능을 지원하며, 지연시간(0.5ms~127ms)과 무시 크기(0~7mm)를 설정할 수 있습니다.

Model Lineup

설비 환경에 맞춰 Analog, EtherCAT, Profinet 통신 모델 중 선택할 수 있습니다.

MES07-FC4

전압/전류 아날로그 출력으로 기존 설비와 간편하게 연동하는 표준 모델입니다.

MES07-FC4E

EtherCAT 통신을 지원해 고속 실시간 제어가 필요한 설비에 적합합니다.

MES07-FC4P

Profinet 통신을 지원해 지멘스 등 Profinet 기반 PLC 환경에 적합합니다.

Applications

컨트롤러에 2개의 센서를 연결하여 롤러와 시트를 동시에 측정, 정확한 두께 측정이 가능합니다.

투명도가 높은 웨이퍼 글라스의 편심과 Notch 위치를 안정적으로 계측합니다.

센서 헤드 2대의 연산 기능을 활용해 굴곡 계측과 필름 폭 계측을 동시에 수행합니다.

Specifications

MES07-LF(센서 헤드) / MES07-FC4E(컨트롤러) 기준

모델명	MES07-FC4 (Analog) / MES07-FC4E (EtherCAT) / MES07-FC4P (Profinet)
측정 폭	7㎜
측정 거리	10 ~ 300㎜
측정 간격	500㎲ (2㎑/S)
이동 정도	±20㎛ 이하 *
반복 정도	±1㎛ 이하 *
채널	4CH (FND 4CH 컨트롤러)
데이터 표시	CH별 4Digit FND × 4
사용 온도	0 ~ 50℃
사용 · 보관 습도	30 ~ 85% RH
전원	센서 헤드 5VDC±10% / 컨트롤러 12~30VDC±10%
재질	센서 헤드 Case Aluminum, Lens Glass / 컨트롤러 Case ABS
광원	가시반도체 레이저 CLASS I, 650nm
외부 통신	Analog(FC4) / EtherCAT(FC4E) / Profinet(FC4P)
확장 케이블	EPC-FC-CBJ

* 투수광 간 거리 20㎜, WD 10㎜, 측정 폭 중심 대비 검출체 위치 0.5~3.5㎜ 이동 조건 기준. 상세 조건은 제품 매뉴얼을 참고해 주세요.

도입 상담 및 견적 문의를 남겨주시면 빠르게 안내해 드립니다.

문의하기